ボンビング／グロス／ファインリークテストシステム
MSX-0101 series
デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の多品種少量検査用に開発され、グロスリークテストとファインリークテストに一台で対応します。
基本仕様
| 検査対象サイズ (mm) | 1.2×1.0～2.5×2.0、Φ12～3.2×2.5 ※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります |
|---|---|
| 判別レベル (Pa･m³/s) | グロスリーク：2×10⁻⁷～大リーク（等価標準リーク） ファインリーク：1×10⁻⁹～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC100V±10％ 単相50/60Hz ・ 2kVA |
| 空圧源 | 0.5 MPa以上 |
| ヘリウム源 | 0.5～1 MPa（ボンベからの充填圧による） |
| 外形寸法(mm) | W1000×D850×H1200 |