株式会社フクダ

小型電子部品専用気密検査装置とは?

水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMSデバイス、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストを行う装置です。密封された製品のリークテストは、グロスリークテストとファインリークテストの2種類の検査を行う必要があります。全行程を一台で行える全自動機や専用機(特注)、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。

ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

ヘリウム浸漬(ボンビング)、グロスリーク、ファインリークテストの条件を管理しながら
リークテストを行う装置です。

全自動機

MSX-6200ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

測定時間の短縮に最適な高精度の全自動機種です。

  • 12ch仕様
  • 0.8s/個 ボンビング60min
対応ワークサイズ(mm)
2.0×1.6~3.2×2.5
MSX-6110ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

測定時間の短縮に最適な全自動機種です。

  • 8ch仕様
  • 1.2s/個 ボンビング60min
  • 1.0s/個 ボンビング40min
対応ワークサイズ(mm)
1.2×1.0~2.0×1.6

少量検査機

MSX-0100ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

デバイス開発時の評価試験向け装置。

対応ワークサイズ(mm)
1.2×1.0~2.5×2.0
Φ12~3.2×2.5

グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります。

グロスリークテストシステム

グロスリーク判別を行うグロスリークテスト装置です。

全自動機

MSZ-6200グロスリークテストシステム

測定時間の短縮に最適な高精度の全自動機種です。

  • 12ch仕様
  • 0.5s/個、1.0s/個
対応ワークサイズ(mm)
1.6×1.2~3.2×2.5
MS-6086グロスリークテストシステム

測定時間の短縮に最適な全自動機種です。

  • 8ch仕様
  • 1.0s/個
対応ワークサイズ(mm)
1.6×1.2~2.5×2.0

卓上機

MS-512/522グロスリークテストシステム

卓上タイプのグロスリークテスト装置です。

対応ワークサイズ(mm)
2.5×2.0mm ~Φ18.5×長さ30mmまで

より小さい漏れ試験をしたい方はこちらへ(ウルトラファインリークテスト・4×10-15Pa・m3/s (He) )

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