従来の方式におけるヘリウムリーク量は、バックグラウンドの影響を考慮すると、実質10^-10Pa・m³/s(He)台まででしたが、この技術では10^-15 Pa・m³/s (He)台までの漏れ量の測定が可能です。
※測定できる漏れ量は、ワークの種類と条件によって異なります。

図1：ヘリウムリーク量の測定範囲

カプセル蓄積法は、ワーク（試験品）からの微小なヘリウムリークを検出するために、大容積の「チャンバ」の中に小容積の「カプセル」を設け、ヘリウムリーク測定を行う方法です。 次の①～③の流れで、微小漏れの測定を行います。

【測定の流れ】

①ワーク（試験品）を入れた「カプセル」と「チャンバ」を真空にしてから「カプセル」を閉じ、
　質量分析計で検出可能なレベルになるまでヘリウムを蓄積します。
②「カプセル」を開き、「カプセル」内のガスを「チャンバ」内に開放します。
③拡散されたヘリウムは、分子流の状態になって「絞り」を通り、質量分析計で計測されます。

図2：原理図

バックグラウンドを大幅に低減

超微小のヘリウムリークの検出が可能
ヘリウムリーク判定能力※4×10^-15Pa・m³/s（He）～
※蓄積時間2時間の場合。
ボンビング条件、カプセルサイズ、放置時間等の試験条件に依存します。

誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減

ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間やメンテナンスが
通常のヘリウムリークディテクタと同等です。

ヘリウム蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能です。

図3：カプセル蓄積法のヘリウム感度

図3は、検出したいヘリウム感度（縦軸）に対応する蓄積時間（横軸）を表しています。

パッケージの材質について

パッケージや接合面の材料にガラス質が含まれる場合、ヘリウムガスの透過・付着が発生します。あらかじめ使用する材料にはご注意ください。許容できるヘリウムガスの透過・付着量は、測定リーク量のおよそ1/10以下が必要です。

グロスリーク（大漏れ）について

グロスリーク（大漏れ）がある場合、ワーク内部のヘリウムガスが短時間で抜け、ファインリーク測定値が不正確となるため、グロスリーク 1×10^-6Pa・m³/s （等価標準リーク率）を正確に計測する必要があります。大漏れ測定には、推奨のグロスリークテストシステムをご利用ください。試験体の内容積は、0.1mm³以上を確保してください。

測定方法・手順について

・個々のワークに対する計測方法や手順は、アプリケーションノート（手順事例等）をご参照ください。
・ご要望により、出張オペレーティング対応をいたしますのでご相談ください。