株式会社フクダ

小型電子部品専用気密検査装置とは?

本装置は、水晶発振子、セラミック発振子、MEMS、SAWフィルター、小型リレー等、気密性が求められる各種小型電子部品のリークテストを自動で行う装置です。 小型電子部品の漏れ検査は、一般的に大漏れを測定するグロスリークテスト(エアリークテスト)と、微小漏れを測定するファインリークテスト(ヘリウムリークテスト)の2種類の検査が併用されます。

少量検査用

デバイス開発時の試験、量産ライン投入前の事前実験、不良品のデータ分析、
抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。

MUH-0100ウルトラファインリークテストシステム

超微小漏れ "4×10-15 Pa・m3/s (He)"を計測可能 です。

MSX-0101ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

デバイス開発時の評価試験向け装置。

MS-512/522グロスリークテストシステム

卓上タイプのグロスリーク試験装置。

お見積もり・デモ機貸し出し・実験依頼・修理などお気軽にお問い合わせください