ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。業界で初めて1.0×0.8mmサイズに対応。画像処理を用いた位置補正により搬送精度を向上しました。
検査対象サイズ (mm) |
1.0×0.8、1.2×1.0 |
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処理速度 | 12ch 1.0s/個 ボンビング60min |
判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク:8×10-8~大リーク (等価標準リーク) ファインリーク:1×10-9~(He) |
電源電圧・消費電力 | AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA |
寸法(mm) | W1800×D1400×H1800 ※シグナルタワー、液晶パネルを除く |
ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
検査対象サイズ (mm) |
2.0×1.6~3.2×2.5 |
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処理速度 | 12ch 0.8s/個 ボンビング60min |
判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク:2×10-7〜大リーク (等価標準リーク) ファインリーク:1×10-9〜(He) |
電源電圧・消費電力 | AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA |
寸法(mm) | W1600×D1000×H1800 ※シグナルタワー除く |
ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
検査対象サイズ (mm) |
1.2×1.0~2.0×1.6 |
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処理速度 | 8ch 1.2s/個 ボンビング60min 1.0s/個 ボンビング40min |
判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク:2×10-7〜大リーク (等価標準リーク) ファインリーク:1×10-9~(He) |
電源電圧・消費電力 | AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA |
寸法(mm) | W1800×D1150×H1800 ※シグナルタワー除く |
デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
検査対象サイズ (mm) |
1.2×1.0~2.5×2.0 Φ12~3.2×2.5 グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります |
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判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク:2×10-7~大リーク (等価標準リーク) ファインリーク:1×10-9~(He) |
電源電圧・消費電力 | AC100V±10% 単相50/60Hz 2kVA |
寸法(mm) | W1000×D850×H1200 |