ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。業界で初めて1.0×0.8mmサイズに対応。画像処理を用いた位置補正により搬送精度を向上しました。
| 検査対象サイズ (mm) |
1.0×0.8、1.2×1.0 |
|---|---|
| 処理速度 | 12ch 1.0s/個 ボンビング60min |
| 判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク：8×10-8～大リーク （等価標準リーク） ファインリーク：1×10-9～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC200V±10％ 三相50/60Hz 4kVA |
| 寸法(mm) | W1800×D1400×H1800 ※シグナルタワー、液晶パネルを除く |
ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
| 検査対象サイズ (mm) |
2.0×1.6～3.2×2.5 |
|---|---|
| 処理速度 | 12ch 0.8s/個 ボンビング60min |
| 判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク：2×10-7〜大リーク （等価標準リーク） ファインリーク：1×10-9〜（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC200V±10％ 三相50/60Hz 4kVA |
| 寸法(mm) | W1600×D1000×H1800 ※シグナルタワー除く |
ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
| 検査対象サイズ (mm) |
1.2×1.0～2.0×1.6 |
|---|---|
| 処理速度 | 8ch 1.2s/個 ボンビング60min 1.0s/個 ボンビング40min |
| 判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク：2×10-7〜大リーク （等価標準リーク） ファインリーク：1×10-9～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC200V±10％ 三相50/60Hz 4kVA |
| 寸法(mm) | W1800×D1150×H1800 ※シグナルタワー除く |
デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。
| 検査対象サイズ (mm) |
1.2×1.0～2.5×2.0 Φ12～3.2×2.5 グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります |
|---|---|
| 判別レベル (Pa・m3/s) |
グロスリーク：2×10-7～大リーク （等価標準リーク） ファインリーク：1×10-9～（He） |
| 電源電圧・消費電力 | AC100V±10％ 単相50/60Hz 2kVA |
| 寸法(mm) | W1000×D850×H1200 |
