小型電子部品専用気密検査装置とは?
水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMSデバイス、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストを行う装置です。密封された製品のリークテストは、グロスリークテストとファインリークテストの2種類の検査を行う必要があります。全行程を一台で行える全自動機や専用機(特注)、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。
ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
ヘリウム浸漬(ボンビング)、グロスリーク、ファインリークテストの条件を管理しながら
リークテストを行う装置です。
全自動機
- MSX-7000ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
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1.0×0.8サイズに対応した全自動装置の最新機種です。画像処理を用いた位置補正により搬送精度を向上しました。
対応ワークサイズ(mm) |
1.0×0.8~1.2×1.0 |
- MSX-6200ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
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測定時間の短縮に最適な高精度の全自動機種です。
対応ワークサイズ(mm) |
2.0×1.6~3.2×2.5 |
- MSX-6110ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
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測定時間の短縮に最適な全自動機種です。
- 8ch仕様
- 1.2s/個 ボンビング60min
- 1.0s/個 ボンビング40min
対応ワークサイズ(mm) |
1.2×1.0~2.0×1.6 |
少量検査機
- MSX-0101ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
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デバイス開発時の評価試験向け装置。
対応ワークサイズ(mm) |
1.2×1.0~2.5×2.0 Φ12~3.2×2.5 |
グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります。
グロスリークテストシステム
グロスリーク判別を行うグロスリークテスト装置です。
全自動機
- MSZ-6200グロスリークテストシステム
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測定時間の短縮に最適な高精度の全自動機種です。
対応ワークサイズ(mm) |
1.6×1.2~3.2×2.5 |
- MS-6086グロスリークテストシステム
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測定時間の短縮に最適な全自動機種です。
対応ワークサイズ(mm) |
1.6×1.2~2.5×2.0 |
卓上機
- MS-512/522グロスリークテストシステム
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卓上タイプのグロスリークテスト装置です。
対応ワークサイズ(mm) |
2.5×2.0mm ~Φ18.5×長さ30mmまで |
より小さい漏れ試験をしたい方はこちらへ(ウルトラファインリークテスト・4×10-15Pa・m3/s (He) )
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