ヘリウムリークテストは、検査物にヘリウムガスを充填し、漏れ出たガスを質量分析管に通しヘリウムだけを検知して漏れの有無を判断します。

トレーサガス

検査物に充填するガスにヘリウムを使用します。濃度は100％から希釈したものまで可能です。また、ヘリウムガスは高価なので回収して使用することも可能です。

検知原理

漏れ出たヘリウムガスは分析管のイオンチャンバ内でフィラメントからの電子ビームによりイオン化されます。このイオンは加速されスリットから飛び出します。分析部にかけられた磁場内を通過するとき質量の違いにより異なった円軌道を描きます。ヘリウムイオンのみをコレクタで集めることによりヘリウムを検知します。

[図解] ヘリウムリークテストの原理

該当製品

• HES-2000 series
• HES-1000 series

ヘリウムリークテストでは、ベルジャー法が多く用いられます。ベルジャー法は、大気で漏れ出たガスが薄まらない様にワーク内を減圧した上でヘリウムガスを充填します。チャンバ内を吸引し漏れ出たヘリウムをディテクタで検出判定します。ワーク内のヘリウムは排気後窒素ガスで洗浄します。

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