English
中文
日本語
国内拠点
海外拠点
会社案内
業務領域
国内拠点
フクダの取り組み
製品一覧
エアリークテスタ
標準型
FL-610
高圧テスト対応
FL-611
温度補正機能付き
FL-612
自動校正機能付き
FLZ-0620
ワーク容積対応型
FL-3600/3700/3800
コンパクトタイプ
FLZ-0220, FL-273
セパレートタイプ
LPU-100, LPU-024
フローテスタ / 流量計
フローテスタ
FM-1061, FM-1062
ラミナーフローメータ
MFU-110, FU, FLF-110
水素リークテスタ
水素リークディテクタ
HD-111
ヘリウムリークテストシステム
ヘリウムリークテストシステム
HES-2000, HES-1000
小型電子部品専用
ポンピング/グロス/ファイン
MSX-7000, MSX-6200, MSX-6110, MSX-0101
グロス
MSZ-6200, MS-6086, MS-512/522
ウルトラファインリークテストシステム
密封品エアリークテスト装置
包装容器エアリークテスト装置
標準リーク/較正器
標準リーク
FFM-100,FFM-400
較正器
CAL
周辺機器
電空レギュレータ
レギュレータ
デジタル圧力計
検査対象から探す
自動車産業
電気·電子産業
医療・薬品産業
食品・化粧品・包装産業
住宅·設備産業
油·空圧産業
その他
ダウンロード
カタログ
テクニカルマニュアル
設計資料
外観資料
計算シート・単位換算シート
お問い合わせ・サポート
お問い合わせフォーム
ユーザー登録
営業所・工場へのアクセス
海外拠点
導入フロー
圧力単位の換算
ホーム
リークテストの原理と測定方式
ヘリウムリークテストの原理と測定方式
ヘリウムリークテストの原理
ヘリウムリークテストは、検査物にヘリウムガスを充填し、漏れ出たガスを質量分析管に通しヘリウムだけを検知して漏れの有無を判断します。
トレーサガス
検査物に充填するガスにヘリウムを使用します。濃度は100%から希釈したものまで可能です。また、ヘリウムガスは高価なので回収して使用することも可能です。
検知原理
漏れ出たヘリウムガスは分析管のイオンチャンバ内でフィラメントからの電子ビームによりイオン化されます。このイオンは加速されスリットから飛び出します。分析部にかけられた磁場内を通過するとき質量の違いにより異なった円軌道を描きます。ヘリウムイオンのみをコレクタで集めることによりヘリウムを検知します。
[図解] ヘリウムリークテストの原理
該当製品
HES-2000 series
HES-1000 series
ヘリウムリークテストの測定方式
ヘリウムリークテストでは、ベルジャー法が多く用いられます。ベルジャー法は、大気で漏れ出たガスが薄まらない様にワーク内を減圧した上でヘリウムガスを充填します。チャンバ内を吸引し漏れ出たヘリウムをディテクタで検出判定します。ワーク内のヘリウムは排気後窒素ガスで洗浄します。
製品について詳しくはこちら
お見積もり・デモ機貸し出し・実験依頼・修理などお気軽にお問い合わせください