株式会社フクダ

グロスリークテストシステム

グロスリークテストシステム
MSZ-6200 series

全自動のグロスリークテスト装置です。1時間に7200個の測定が可能です。

基本仕様
検査対象サイズ(mm) 1.6×1.2~3.2×2.5
処理速度 12ch 0.5s/個、1.0s/個
判別レベル グロスリーク:大リーク~2×10-7Pa・m3/s(等価標準リーク)
電源電圧・消費電力 AC100V±10% 単相50/60Hz 1.5kVA
寸法(mm) W1000×H1800×D1000
※シグナルタワー除く
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グロスリークテストシステム
MS-6086 series

全自動のグロスリークテスト装置です。

基本仕様
検査対象サイズ(mm) 1.6×1.2~2.5×2.0
処理速度 8ch 1.0s/個
判別レベル グロスリーク:大リーク~2×10-7Pa・m3/s(等価標準リーク)
電源電圧・消費電力 AC100V±10% 単相50/60Hz 1.5kVA
寸法(mm) W1020×H1450×D985
※シグナルタワー除く
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グロスリークテストシステム
MS-512,522 series

デバイス開発時の試験、量産ライン投入前の事前実験、抜き取り検査などの少量検査に最適な卓上タイプのエアリークテスト装置です。
検査対象サイズ:2.5×2.0mm~Φ18.5×長さ30mmまで

基本仕様
精度

▼テスト圧200kPaの時

FL-510:
大リーク~1 ×10-4Pa・m3/s
大きいワーク(φ18.5 ×長さ30mm まで)
※MS-511のみ
FL-513:
大リーク~1 ×10-5Pa・m3/s
5.0×3.2mm
FL-515:
大リーク~5 ×10-6Pa・m3/s
2.5×2.0、3.2×2.5mm
チャンネル数 MS-512:1ch
MS-522:2ch
電源電圧 AC100V±10% 単相50/60Hz
寸法(mm) MS-512:W300×H368×D510
MS-522:W384×H368×D510
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