株式会社フクダ

ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-6200 series

ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

基本仕様
検査対象サイズ(mm) 2.0×1.6~3.2×2.5
処理速度 12ch 0.8s/個 ボンビング60min
判別レベル グロスリーク:~2×10-7Pa・m3/s
      (等価標準リーク)
ファインリーク:~1×10-9Pa・m3/s(He)
電源電圧・消費電力 AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA
寸法(mm) W1600×H1800×D1000
※シグナルタワー除く
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ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-6110 series

ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

基本仕様
検査対象サイズ(mm) 1.2×1.0~2.0×1.6
処理速度 8ch
1.2s/個 ボンビング60min
1.0s/個 ボンビング40min
判別レベル グロスリーク:~2×10-7Pa・m3/s
      (等価標準リーク)
ファインリーク:~1×10-9Pa・m3/s(He)
電源電圧・消費電力 AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA
寸法(mm) W1800×H1800×D1150
※シグナルタワー除く
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ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-0100 series

デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

基本仕様
検査対象サイズ(mm) 1.2×1.0~2.5×2.0
Φ12~3.2×2.5

グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります

判別レベル グロスリーク:~2×10-7Pa・m3/s
      (等価標準リーク)
ファインリーク:~1×10-9Pa・m3/s(He)
電源電圧・消費電力 AC100V±10% 単相50/60Hz 2kVA
寸法(mm) W920×H1200×D820
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