株式会社フクダ

ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム

ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-7000 series

ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。業界で初めて1.0×0.8mmサイズに対応。画像処理を用いた位置補正により搬送精度を向上しました。

基本仕様
検査対象サイズ
(mm)
1.0×0.8、1.2×1.0
処理速度 12ch 1.0s/個 ボンビング60min
判別レベル
(Pa・m3/s)
グロスリーク:8×10-8~大リーク
      (等価標準リーク)
ファインリーク:1×10-9~(He)
電源電圧・消費電力 AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA
寸法(mm) W1800×D1400×H1800
※シグナルタワー、液晶パネルを除く
資料ダウンロード
Youtube動画
ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-6200 series

ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

基本仕様
検査対象サイズ
(mm)
2.0×1.6~3.2×2.5
処理速度 12ch 0.8s/個 ボンビング60min
判別レベル
(Pa・m3/s)
グロスリーク:2×10-7〜大リーク
      (等価標準リーク)
ファインリーク:1×10-9〜(He)
電源電圧・消費電力 AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA
寸法(mm) W1600×D1000×H1800
※シグナルタワー除く
資料ダウンロード
Youtube動画
ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-6110 series

ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

基本仕様
検査対象サイズ
(mm)
1.2×1.0~2.0×1.6
処理速度 8ch
1.2s/個 ボンビング60min
1.0s/個 ボンビング40min
判別レベル
(Pa・m3/s)
グロスリーク:2×10-7〜大リーク
      (等価標準リーク)
ファインリーク:1×10-9~(He)
電源電圧・消費電力 AC200V±10% 三相50/60Hz 4kVA
寸法(mm) W1800×D1150×H1800
※シグナルタワー除く
資料ダウンロード
Youtube動画
ボンビング/グロス/ファインリークテストシステム
MSX-0101 series

デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。ボンビング(ヘリウム浸漬)、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

基本仕様
検査対象サイズ
(mm)
1.2×1.0~2.5×2.0
Φ12~3.2×2.5

グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります

判別レベル
(Pa・m3/s)
グロスリーク:2×10-7~大リーク
      (等価標準リーク)
ファインリーク:1×10-9~(He)
電源電圧・消費電力 AC100V±10% 単相50/60Hz 2kVA
寸法(mm) W1000×D850×H1200
資料ダウンロード

お見積もり・デモ機貸し出し・実験依頼・修理などお気軽にお問い合わせください